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文献
J-GLOBAL ID：200902000567658386
整理番号：90A0638057
機械的共振トランスデューサへの微細粒子の引張多結晶けい素の応用
The application of fine-grained, tensile polysilicon to mechanically resonant transducers.
GUCKEL H
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
SNIEGOWSKI J J
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
CHREISTENSON T R
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
RAISSI F
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 21 号： 1/3 ページ： 346-351 発行年： 1990年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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