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文献
J-GLOBAL ID：200902000738064471
整理番号：88A0459843
シリコンウエハにおけるppb領域以下の表面汚染の検出
Surface contamination detection below the ppb range on silicon wafers.
CORRADI A
(Dynamit Nobel Silicon, Novara, ITA)
,
DOMENICI M
(Dynamit Nobel Silicon, Novara, ITA)
,
GUAGLIO A
(Dynamit Nobel Silicon, Novara, ITA)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 89 号： 1 ページ： 39-42 発行年： 1988年06月01日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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