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文献
J-GLOBAL ID：200902000859316257
整理番号：90A0029929
進行波を利用したマイクロ波プラズマの発生
Generation of a microwave plasma using traveling waves.
KOMACHI K
(Sumitomo Metal Industries, Ltd., Amagasaki, JPN)
,
KOBAYASHI S
(Sumitomo Metal Industries, Ltd., Amagasaki, JPN)
資料名：
Journal of Microwave Power and Electromagnetic Energy
(Journal of Microwave Power and Electromagnetic Energy)
巻： 24 号： 3 ページ： 140-149 発行年： 1989年
JST資料番号： D0640A ISSN： 0832-7823 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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