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文献
J-GLOBAL ID：200902001187005262
整理番号：90A0193558
平滑表面を持つポリシリコーンフィルムからのミクロ機械デバイスの製造
Fabrication of micromechanical devices from polysilicon films with smooth surfaces.
GUCKEL H
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
SNIEGOWSKI J J
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
CHRISTENSON T R
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
MOHNEY S
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
KELLY T F
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名：
Sensors and Actuators (Lausanne)
(Sensors and Actuators (Lausanne))
巻： 20 号： 1/2 ページ： 117-122 発行年： 1989年11月15日
JST資料番号： B0345B ISSN： 0250-6874 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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