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文献
J-GLOBAL ID：200902001224139932
整理番号：85A0418563
イオン注入用反復パルス金属イオンビーム
Repetitively pulsed metal ion beams for ion implantation.
ADLER R J
(Mission Research Corp., New Mexico)
,
PICRAUX S T
(Sandia National Lab., New Mexico)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 6 号： 1/2 ページ： 123-128 発行年： 1985年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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