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文献
J-GLOBAL ID：200902001343344803
整理番号：85A0234268
GaAsの光補助ドライエッチング
Photon-assisted dry etching of GaAs.
BREWER P
(Columbia Univ., New York)
,
HALLE S
(Columbia Univ., New York)
,
OSGOOD R M JR
(Columbia Univ., New York)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 45 号： 4 ページ： 475-477 発行年： 1984年08月15日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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