文献
J-GLOBAL ID:200902001757068883
整理番号:89A0333329
電子ビーム計測工学系のための新しいサブミクロンレベル基準
Proposal for a new submicron dimension reference for an electron beam metrology system.
著者 (3件):
NAKAYAMA Y
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
OKAZAKI S
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
SUGIMOTO A
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
6
号:
6
ページ:
1930-1933
発行年:
1988年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)