文献
J-GLOBAL ID:200902001912653305
整理番号:87A0443275
シリコン-ふっ素化学における高エネルギーイオン衝撃の役割
The role of energetic ion bombardment in silicon-fluorine chemistry.
著者 (2件):
COBURN J W
(IBM Almaden Research Center, CA, USA)
,
WINTERS H F
(IBM Almaden Research Center, CA, USA)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
27
号:
1
ページ:
243-248
発行年:
1987年06月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)