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文献
J-GLOBAL ID：200902001941131890
整理番号：88A0395301
レーザ誘起熱化学反応を利用したセラミックスの加工 CF4ガス雰囲気中での加工特性
Laser-induced thermo-chemical etching of ceramics. Etching characteristics in CF4 gas.
土屋八郎
(京都工繊大 工芸)
,
後藤英和
(京都工繊大 工芸)
,
森勇蔵
(大阪大 工)
,
宮崎真
(京都工繊大 工芸)
,
安田光宏
(京都工繊大 大学院)
,
河原康司
(松下冷機)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54 号： 5 ページ： 903-908 発行年： 1988年05月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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