文献
J-GLOBAL ID:200902001979969021
整理番号:88A0419488
センサ工学における薄膜および厚膜の技術
Duenn- und Dickschichttechnologien fuer die Sensorik.
著者 (1件):
MUELLER J
(TU Hamburg-Harburg, Hamburg, DEU)
資料名:
ETZ
(ETZ)
巻:
109
号:
11
ページ:
502,504-507
発行年:
1988年06月
JST資料番号:
B0492A
ISSN:
0948-7387
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
ドイツ語 (DE)