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文献
J-GLOBAL ID：200902002960908273
整理番号：91A0580678
U-LPCVD Poly-Si薄膜の評価
The evaluation of U-LPCVD Poly-Si films.
中村健一
(日本電気 機能エレクトロニクス研)
,
田辺浩
(日本電気 機能エレクトロニクス研)
,
世良賢二
(日本電気 機能エレクトロニクス研)
,
奥村藤男
(日本電気 機能エレクトロニクス研)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th 号： Pt 2 ページ： 600 発行年： 1991年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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