文献
J-GLOBAL ID:200902003007068299
整理番号:93A0060972
GaAs基板へのFeのマグネトロンスパッタ 高エネルギー衝撃効果
Magnetron sputtering of Fe onto GaAs substrates: Energetic bombardment effects.
著者 (3件):
BERNSTEIN S D
(Raytheon Co., Massachusetts)
,
WONG T Y
(Raytheon Co., Massachusetts)
,
TUSTISON R W
(Raytheon Co., Massachusetts)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
72
号:
9
ページ:
4358-4365
発行年:
1992年11月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)