文献
J-GLOBAL ID:200902003032327487
整理番号:84A0246574
薄膜の応力決定法
A technique for the determination of stress in thin films.
著者 (4件):
BROMLEY E I
(Massachusetts Inst. Technology)
,
RANDALL J N
(Massachusetts Inst. Technology)
,
FLANDERS D C
(Massachusetts Inst. Technology)
,
MOUNTAIN R W
(Massachusetts Inst. Technology)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
1
号:
4
ページ:
1364-1366
発行年:
1983年10月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)