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文献
J-GLOBAL ID：200902006715070278
整理番号：89A0259129
単色シンクロトロン光によるシリコン表面の光収量分光顕微鏡
Photoyield spectromicroscopy of silicon surfaces using monochromatic synchrotron radiation.
TONNER B P
(Univ. Wisconsin-Milwaukee, WI, USA)
,
HARP G R
(Univ. Wisconsin-Milwaukee, WI, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 7 号： 1 ページ： 1-4 発行年： 1989年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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