文献
J-GLOBAL ID:200902007395823430
整理番号:86A0425072
蒸着法による無溶剤のポリイミド膜
Solventless polyimide films by vapor deposition.
著者 (5件):
SALEM J R
(IBM, California)
,
SEQUEDA F O
(IBM, California)
,
DURAN J
(IBM, California)
,
LEE W Y
(IBM, California)
,
YANG R M
(IBM, New York)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
3 Pt 1
ページ:
369-374
発行年:
1986年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)