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文献
J-GLOBAL ID：200902008205491255
整理番号：90A0147898
窒化けい素焼結体のメカノケミカルポリシング
Mechanochemical polishing of sintered silicon nitride.
須賀唯知
(東大 工)
,
鈴木重信
(職業訓練大)
,
宮沢薫一
(東大 工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 55 号： 12 ページ： 2247-2253 発行年： 1989年12月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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