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文献
J-GLOBAL ID:200902008205491255   整理番号:90A0147898

窒化けい素焼結体のメカノケミカルポリシング

Mechanochemical polishing of sintered silicon nitride.
著者 (3件):
須賀唯知
(東大 工)
鈴木重信
(職業訓練大)
宮沢薫一
(東大 工)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 55  号: 12  ページ: 2247-2253  発行年: 1989年12月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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