文献
J-GLOBAL ID:200902008331115129
整理番号:83A0126899
天然のリソグラフィー
Natural lithography.
著者 (2件):
DECKMAN H W
(Exxon Research and Engineering Co., New Jersey)
,
DUNSMUIR J H
(Exxon Research and Engineering Co., New Jersey)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
41
号:
4
ページ:
377-379
発行年:
1982年08月15日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)