文献
J-GLOBAL ID:200902009788432150
整理番号:91A0908522
Characterization of Automatic Overlay Measurement Technique for Sub-Half Micron Devices.
著者 (4件):
KAWAI A
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
FUJIWARA K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
TSUJITA K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
NAGATA H
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1464
ページ:
267-277
発行年:
1991年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)