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文献
J-GLOBAL ID：200902009879861860
整理番号：91A0781011
スパッタ蒸着酸化ニオブの相図
A phase map for sputter deposited niobium oxides.
LEE R C
(Univ. Wisconsin-Milwaukee, Wisconsin)
,
AITA C R
(Univ. Wisconsin-Milwaukee, Wisconsin)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 70 号： 4 ページ： 2094-2103 発行年： 1991年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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