文献
J-GLOBAL ID:200902009959230756
整理番号:91A0342457
DCマグネトロンスパッタリングによるディスプレイ用高伝導率大面積ITO電極
High conducting large area indium tin oxide electrodes for displays prepared by DC magnetron sputtering.
著者 (3件):
LATZ R
(Leybold AG, Alzenau, DEU)
,
MICHAEL K
(Leybold AG, Alzenau, DEU)
,
SCHERER M
(Leybold AG, Alzenau, DEU)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
30
号:
2A
ページ:
L149-L151
発行年:
1991年02月01日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)