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文献
J-GLOBAL ID：200902010739575602
整理番号：87A0533638
モノリシック高精度並進機構の設計と評価
Design and assessment of monolithic high precision translation mechanisms.
SMITH S T
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
CHETWYND D G
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
BOWEN D K
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
資料名：
Journal of Physics. E. Scientific Instruments
(Journal of Physics. E. Scientific Instruments)
巻： 20 号： 8 ページ： 977-983 発行年： 1987年08月
JST資料番号： C0354B ISSN： 0022-3735 CODEN： JPSIAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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