文献
J-GLOBAL ID:200902010798041247
整理番号:83A0384806
合金スパッタリングと注入による表面偏析
Surface segregation during alloy sputtering and implantation.
著者 (4件):
ANDERSEN H H
(Univ. Aarhus, Denmark)
,
STENUM B
(Univ. Aarhus, Denmark)
,
S<span style=text-decoration:overline>O </span>RENSEN T
(Univ. Aarhus, Denmark)
,
WHITLOW H J
(Univ. Aarhus, Denmark)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research)
巻:
209/210
号:
Pt 1
ページ:
487-494
発行年:
1983年05月01日
JST資料番号:
D0208A
ISSN:
0029-554X
CODEN:
NIMRD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)