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文献
J-GLOBAL ID：200902010922596511
整理番号：91A0313977
プラズマにさらすことによるレジスト劣化 イオン衝撃の協力現象的(シナジー)効果
Resist degradation under plasma exposure: Synergistic effects of ion bombardment.
JOUBERT O
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
FIORI C
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
OBERLIN J C
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
PANIEZ P
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
PELLETIER J
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
PONS M
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
VACHETTE T
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
,
WEILL A
(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 69 号： 3 ページ： 1697-1702 発行年： 1991年02月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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