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文献
J-GLOBAL ID：200902011134290327
整理番号：90A0896103
紫外線発生のための無音放電と真空紫外エキサイマ照射
Silent discharges for the generation of ultraviolet and vacuum ultraviolet excimer radiation.
KOGELSCHATZ U
(ASEA Brown Boveri, Banden, CHE)
資料名：
Pure and Applied Chemistry
(Pure and Applied Chemistry)
巻： 62 号： 9 ページ： 1667-1674 発行年： 1990年09月
JST資料番号： H0385A ISSN： 0033-4545 CODEN： PACHAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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