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文献
J-GLOBAL ID：200902011221028167
整理番号：87A0537592
超大規模集積回路用メタライゼーションのための反応性スパッタ二酸化ルテニウムの特性評価
Characterization of reactively sputtered ruthenium dioxide for very large scale integrated metallization.
KRUSIN-ELBAUM L
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
WITTMER M
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
YEE D S
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 50 号： 26 ページ： 1879-1881 発行年： 1987年06月29日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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