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文献
J-GLOBAL ID：200902011426599418
整理番号：87A0139219
丸み付け酸化によるトレンチ表面酸化膜漏れ電流の減少
Decrease in trenched surface oxide leakage currents by rounding off oxidation.
IMAI K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YAMABE K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名：
Extended Abstracts of the 18th (1986 International) Conference on Solid State Devices and Materials
(Extended Abstracts of the 18th (1986 International) Conference on Solid State Devices and Materials)
ページ： 303-306 発行年： 1986年
JST資料番号： K19860706 ISBN： 4-930813-14-X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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