文献
J-GLOBAL ID:200902011614680940
整理番号:87A0173934
陰極スパッタリングによる帯状プラスチックの薄膜コーティング
Beschichtung von bandfoermigem Kunststoff mittels Kathodenzerstaeubung.
著者 (1件):
MAYR M
(Leybold-Heraeus GmbH, Hanau, DEU)
資料名:
Vakuum-Technik
(Vakuum-Technik)
巻:
35
号:
8
ページ:
237-245
発行年:
1986年12月
JST資料番号:
E0348A
ISSN:
0042-2266
CODEN:
VAKTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
ドイツ語 (DE)