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文献
J-GLOBAL ID：200902012150841437
整理番号：88A0347226
ロールコーティングにおける電子ビーム(EB)蒸着とD.C.マグネトロンスパッタリング
Electron beam evaporation and D.C. magnetron sputtering in roll coating.
MATTEUCCI J S
(Optical Coating Lab. Inc., CA, USA)
資料名：
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 30th ページ： 91-104,104(1) 発行年： 1987年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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