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文献
J-GLOBAL ID：200902012393521090
整理番号：87A0465141
SAW素子材料の不均質性検出への線焦点ビーム超音波顕微鏡の応用
Application of line-focus-beam acoustic microscope to inhomogeneity detection on SAW device materials.
KUSHIBIKI J
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ASANO H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
UEDA T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
CHUBACHI N
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1986 号： 2 ページ： 749-753 発行年： 1986年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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