文献
J-GLOBAL ID:200902014310945750
整理番号:89A0276497
反応性イオン化クラスター線で蒸着したTiO2膜の電気的性質
Electrical properties of TiO2 films deposited by a reactive-ionized cluster beam.
著者 (2件):
FUKUSHIMA K
(Setsunan Univ., Neyagawa, JPN)
,
YAMADA I
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
65
号:
2
ページ:
619-623
発行年:
1989年01月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)