文献
J-GLOBAL ID:200902014400323480
整理番号:87A0244405
GaAsの集積回路における接点とメタライゼーションの問題点
Contact and metallization problems in GaAs integrated circuits.
著者 (1件):
BRASLAU N
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
6
ページ:
3085-3090
発行年:
1986年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)