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文献
J-GLOBAL ID：200902014742067036
整理番号：88A0014059
新しい超LSI診断技術 集束イオンビームによる多層配線回路プロービング
A new VLSI diagnosis technique: Focused ion beam assisted multi-level circuit probing.
MASHIKO Y
(Mitsubishi Electric Co., Itami, JPN)
,
MORIMOTO H
(Mitsubishi Electric Co., Itami, JPN)
,
KOYAMA H
(Mitsubishi Electric Co., Itami, JPN)
,
KAWAZU S
(Mitsubishi Electric Co., Itami, JPN)
,
KAITO T
(Seiko Instruments Inc., Shinozuka, JPN)
,
ADACHI T
(Seiko Instruments Inc., Shinozuka, JPN)
資料名：
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻： 25th ページ： 111-117 発行年： 1987年
JST資料番号： A0631A ISSN： 1541-7026 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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