文献
J-GLOBAL ID:200902014774560362
整理番号:90A0726616
オーバレイ測定の精度 工具とマークの非対称性の影響
On the accuracy of overlay measurements: tool and mark asymmetry effects.
著者 (5件):
COLEMAN D J
(IBM East Fishkill, N.Y.)
,
LARSON P J
(IBM East Fishkill, N.Y.)
,
LOPATA A D
(IBM East Fishkill, N.Y.)
,
MUTH W A
(IBM East Fishkill, N.Y.)
,
STARIKOV A
(IBM East Fishkill, N.Y.)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1261
ページ:
139-161
発行年:
1990年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)