文献
J-GLOBAL ID:200902015495774987
整理番号:86A0255402
GaAsのSIMS法と化学的試料調製による高感度不純物分析
Highly sensitive impurity analysis of GaAs using SIMS and chemical preparation.
著者 (2件):
TANAKA T
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
,
KUROSAWA S
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
133
号:
2
ページ:
416-420
発行年:
1986年02月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)