文献
J-GLOBAL ID:200902015551272680
整理番号:87A0185189
GaAs上に同時スパッタした非晶質TaxCu1-x合金薄膜の熱的および構造的安定性
Thermal and structural stability of cosputtered amorphous TaxCu1-x alloy thin films on GaAs.
著者 (5件):
OH J E
(Univ. Nebraska, NB, USA)
,
WOOLLAM J A
(Univ. Nebraska, NB, USA)
,
AYLESWORTH K D
(Univ. Nebraska, NB, USA)
,
SELLMYER D J
(Univ. Nebraska, NB, USA)
,
POUCH J J
(NASA Lewis Research Center, OH, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
60
号:
12
ページ:
4281-4286
発行年:
1986年12月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)