文献
J-GLOBAL ID:200902015594711768
整理番号:88A0530744
パルスレーザの放射で加熱された基板の干渉計測
Interferometric measurement of substrate heating induced by pulsed laser irradiation.
著者 (1件):
SAENGER K L
(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
63
号:
8 Pt1
ページ:
2522-2525
発行年:
1988年04月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)