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文献
J-GLOBAL ID：200902016198143087
整理番号：83A0482785
a-Si:H:O薄膜における酸素と水素の局所結合
Local bonding of oxygen and hydrogen in a-Si:H:O thin films.
LUCOVSKY G
(North Carolina State Univ.)
,
POLLARD W B
(North Carolina State Univ.)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 1 号： 2 Pt 1 ページ： 313-316 発行年： 1983年04月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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