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文献
J-GLOBAL ID：200902016793649270
整理番号：91A0809185
Siの電子サイクロトロン共鳴酸化および界面損傷のエリプソメトリーによるその場研究
In situ spectroscopic ellipsometry study of the electron cyclotron resonance plasma oxidation of silicon and interfacial damage.
HU Y Z
(Univ. North Carolina, North Carolina)
,
JOSEPH J
(Univ. North Carolina, North Carolina)
,
IRENE E A
(Univ. North Carolina, North Carolina)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 59 号： 11 ページ： 1353-1355 発行年： 1991年09月09日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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