文献
J-GLOBAL ID:200902017102284960
整理番号:90A0148644
半導体素子の正確な選択域の断面透過電子顕微鏡観察
Cross-sectional transmission electron microscopy of precisely selected regions from semiconductor devices.
著者 (3件):
KIRK E C G
(Cambridge Univ., Cambridge)
,
WILLIAMS D A
(Cambridge Univ., Cambridge)
,
AHMED H
(Cambridge Univ., Cambridge)
資料名:
Institute of Physics Conference Series
(Institute of Physics Conference Series)
号:
100
ページ:
501-506
発行年:
1989年
JST資料番号:
E0403B
ISSN:
0305-2346
CODEN:
IPHSAC
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)