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J-GLOBAL ID：200902017222631116 整理番号：91A0195653

Siのミクロな機械的破壊強度

Micromechanical fracture strength of silicon.

著者 (2件)：

ERICSON F

(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)

SCHWEITZ J-A

(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)

資料名：

Journal of Applied Physics (Journal of Applied Physics)

巻： 68 号： 11 ページ： 5840-5844 発行年： 1990年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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