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文献
J-GLOBAL ID：200902017309266007
整理番号：87A0286951
新しいタイプの高電流低エネルギーイオン源
New high current low energy ion source.
HARA T
(Inst. Physical and Chemical Research, Wako, JPN)
,
HAMAGAKI M
(Inst. Physical and Chemical Research, Wako, JPN)
,
SANDA A
(Inst. Physical and Chemical Research, Wako, JPN)
,
AOYAGI Y
(Inst. Physical and Chemical Research, Wako, JPN)
,
NAMBA S
(Inst. Physical and Chemical Research, Wako, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 5 号： 1 ページ： 366-368 発行年： 1987年01月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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