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J-GLOBAL ID：200902018288927942 整理番号：92A0596009

Tiny Silent Linear Cybernetic Actuator Driven by Piezoelectric Device with Electromagnetic Clamp.

著者 (3件)：

IKUTA K

(Kyushu Inst. Technology, Fukuoka, JPN)

ARITOMI S

(Kyushu Inst. Technology, Fukuoka, JPN)

KABASHIMA T

(Yaskawa Electric Mfg. Co., Ltd., Kitakyushu, JPN)

資料名：

Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

巻： 5th ページ： 232-237 発行年： 1992年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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