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文献
J-GLOBAL ID：200902019337996889
整理番号：86A0515717
トレンチ構造を用いた自己整合EPROM技術
Trench self-aligned EPROM technology.
SEKIYA K
(NEC Corp., Sagamihara)
,
OHYA S
(NEC Corp., Sagamihara)
,
NIO Y
(NEC Corp., Sagamihara)
,
OZAKI J
(NEC Corp., Sagamihara)
,
OKAMURA K
(NEC Corp., Sagamihara)
,
KIKUCHI M
(NEC Corp., Sagamihara)
資料名：
Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology
(Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)
巻： 1986 ページ： 87,88 発行年： 1986年
JST資料番号： A0035B ISSN： 0743-1562 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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