文献
J-GLOBAL ID:200902019688088075
整理番号:91A0166724
真空ロードロックの制御された給気および排気によるパーティクル汚染の低減
Reduction of particle contamination by controlled venting and pumping of vacuum loadlocks.
著者 (3件):
STRASSER G
(Balzers AG, Balzers, LIE)
,
BADER H P
(Balzers AG, Balzers, LIE)
,
BADER M E
(Balzers AG, Balzers, LIE)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
8
号:
6
ページ:
4092-4097
発行年:
1990年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)