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文献
J-GLOBAL ID：200902019726937170
整理番号：86A0120320
クリーンルームの分類
Clean room classification.
STOKES K H
(International Business Machines Corp., California)
資料名：
Journal of Environmental Sciences
(Journal of Environmental Sciences)
巻： 28 号： 6 ページ： 37-40 発行年： 1985年11月
JST資料番号： E0531A ISSN： 0022-0906 CODEN： JEVSAG 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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