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文献
J-GLOBAL ID：200902019866711920
整理番号：86A0548268
薄膜技術の進歩
Fortschritte der Technologie duenner Schichten.
LANGER H-D
(Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, DDR)
資料名：
Feingeraetetechnik
(Feingeraetetechnik)
巻： 35 号： 8 ページ： 366-370 発行年： 1986年
JST資料番号： B0526A ISSN： 0014-9683 CODEN： FGRTA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： ドイツ語 (DE)
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