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文献
J-GLOBAL ID：200902019969074944
整理番号：90A0606328
マイクロアクチュエータ用TiNi形状記憶合金薄膜の結晶学的解析
Crystallographic analysis of TiNi shape memory alloy thin film for micro actuator.
IKUTA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
IKEDA M
(Yaskawa Electric Mfg. Co., Ltd., Kitakyushu, JPN)
,
YAMASHITA S
(Yaskawa Electric Mfg. Co., Ltd., Kitakyushu, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990
(Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ： 38-39 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900617 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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