文献
J-GLOBAL ID:200902020162967730
整理番号:83A0190792
シリコンの紫外レーザドーピング
Ultra-violet laser doping of silicon.
著者 (2件):
IBBS K G
(General Electric Co., UK)
,
LLOYD M L
(General Electric Co., UK)
資料名:
Optics & Laser Technology
(Optics & Laser Technology)
巻:
15
号:
1
ページ:
35-39
発行年:
1983年02月
JST資料番号:
D0245B
ISSN:
0030-3992
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)