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文献
J-GLOBAL ID：200902021255297537
整理番号：91A0930431
VLSIチップにおける欠陥サイズ分布
Defect Size Distribution In VLSI Chips.
GLANG R
(International Business Machines Corp., VA)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 4 号： 4 ページ： 265-269 発行年： 1991年11月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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