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文献
J-GLOBAL ID：200902023284280999
整理番号：91A0136123
超クリーンルームのための非汚染型イオナイザー
Contamination-free ionizer for super clean room.
SAKATA S
(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)
,
INABA H
(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)
,
YOSHIDA T
(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)
,
OKADA T
(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)
資料名：
Aerosols: Science, Industry, Health and Environment, Vol.2
(Aerosols: Science, Industry, Health and Environment, Vol.2)
ページ： 817-820 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900973 ISBN： 0-08-037524-3 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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